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非接觸式吸盤-CKD精密吸盤 PVP Series

非接觸式吸盤-CKD精密吸盤 PVP Series

精密吸盤 PVP Series

不損傷工件、 超潔凈&高精密吸附?

吸附面采用氟樹脂燒結(jié)多孔材質(zhì)的精密吸盤PVP系列。

即使是極薄材料及柔軟材質(zhì),也不會(huì)損傷工件,并能消除因吸附導(dǎo)致的歪斜及變形。

可完成各種高精度工件處理。

用途示例

  • 光盤、磁盤的搬送?粘貼等
  • 液晶玻璃、薄膜基板的粘貼、搬送等
  • 晶圓旋轉(zhuǎn)、拋光、搬送等
  • 除上述吸附用途外,還接單生產(chǎn)上浮用途產(chǎn)品

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規(guī)格
項(xiàng)PVP-R-86-18

PVP-C-50


PVP-S-50-50
PVP-R-85-27
PVP-R-118-18
PVP-C-75
PVP-C-100
PVP-C-113
PVP-C-138
PVP-S-100-100
PVP-C-187

PVP-S-150-150
PVP-S-200-850
產(chǎn) 品吸附面 μm(注)平面度234
平行度51015
基準(zhǔn)面平面度 μm101010
空氣泄漏量 2/min(ANR)0.40.61
真空差壓 kPa(注2)40以上
使用加壓力 MPa0.2以下(清潔空氣)
環(huán)境溫度 ℃5~40
環(huán)境濕度 %RH(注3)65以下
多孔材質(zhì)部位材質(zhì)三氟聚氯乙烯樹脂
氣孔率 %40±5
肖氏D硬度 度60±15
底板部位材質(zhì)耐腐蝕鋁合金
表面處理 (注4)
1:該精度是在23℃恒溫室中放置24小時(shí)后的測(cè)量值。 在非23℃的環(huán)境中精度將發(fā)生變化,可能偏離規(guī)格值。
測(cè)量方法規(guī)定,在無負(fù)載狀態(tài)下將產(chǎn)品置于平臺(tái)上測(cè)量其直線度(2個(gè)方向以上),取其最大值。
雖然不是原本的平面度測(cè)量方法,但因?yàn)槎嗫撞馁|(zhì)表面存在凹痕,所以采用了該測(cè)量方法。
2:表示通過整個(gè)多孔材質(zhì)面真空吸附工件時(shí)的真空源壓力下降值。
注3:在超過65%RH的濕度環(huán)境中,可能導(dǎo)致吸附面精度變化,偏離規(guī)格值。
注4:本產(chǎn)品的本體材質(zhì)為耐腐蝕鋁合金未淬火材質(zhì)。 需要指定表面處理(鈍化處理、無電解鍍鎳等)時(shí),接單生產(chǎn)處理對(duì)應(yīng)。
吸附面積·重量表
號(hào)吸附面積(cm2)重量(g)
PVP-R-36-18880
PVP-R-85-2751290
PVP-R-118-18107520
PVP-C-5020140
PVP-C-7544250
PVP-C-10079390
PVP-C-113100490
PVP-C-138149680
PVP-C-1872751,170
PVP-S-50-5025160
PVP-S-100-100100490
PVP-S-150-150225980
PVP-S-200-2505002,030

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