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雙軸精密劃片機

分類:半導體設備 案例中心 1037 0

雙軸晶圓切割機為12英寸全自動動精密劃片機,

采用高精密進口主要配件,T軸采用DD馬達,重復精度1μm,穩(wěn)定性極強
采用進口研磨級超高精密滾珠絲+松下伺服電機A6系列,精度高,耐用性久,穩(wěn)定性高,超高直線度,實測0.9um采用進口研磨級超高精密滾珠絲杠,定位精度可達2μm

  • 雙軸精密劃片機

    雙軸晶圓切割機為12英寸全自動動精密劃片機, 采用高精密進口主要配件,T軸采用DD馬達,重復精度1μm,穩(wěn)定性極強 采用進口研磨級超高精密滾珠絲+松下伺服...

標簽:伺服電機伺服驅動器松下

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