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CKD化學(xué)液體用氣控閥 AMD013R AMD023R AMD033R

CKD化學(xué)液體用氣控閥 AMD013R AMD023R AMD033R

對應(yīng)不同規(guī)格的一體化機種!

品名：CKD化學(xué)液體用氣控閥 2通閥

使用流體：純水、化學(xué)液體、空氣、氮氣（注1）

主要用途：化學(xué)液體供給裝置、清洗裝置

支持【流體壓力：0.5MPa】【流體溫度：120℃】。

AMD013R AMD023R AMD033R

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主要用途：清洗裝置· 化學(xué)液體供給裝置
氣控閥
流體名2通
AMDZ※3R
AMDO※3R
AMD3※3R
AMD4※3R
AMD5※3R

……第2頁		AMDO※2


……第26頁		AMD3※2
AMD4※2
AMD5※2


……第30頁		AMD41H
AMD51H
AMD61H


……第52頁		AMD31M
AMD51M



……第56頁
純水●●●●●
酸性
流體		硫酸●●●●●
鹽酸●●●(注10)●●
硝酸●●(注5)●(注5)●●
氫氟酸(注2)●(注11)●●注5,10)●●
磷酸●●●●●
氟化銨(注2)●(注11)●●(注5)●●
雙氧水●●●●●
臭氧水△△△△△
硫酸+雙氧水(注3)●●●●●
硫酸+臭氧△△△△△
堿性
流體		氫氧化鈉●●●●●
氫氧化鉀●●●●●
氨水●●注6)●注6)●注6)△
有機類
流體		丙酮X●注6)●(注7)●注6)— (注8)
醋酸丁酯X●注6)●(注7)●注6)— (注8)
異丙乙醇●●●●— (注8)
其它 ·
混合液
(注1)		稀釋劑X●●●— (注8)
絕緣涂料●●●●— (注8)
顯影液●●●●— (注8)
研磨液●●●●一 (注8)
電鍍液●●●●— (注8)
剝離液(注4)●●●●— (注8)
氣體空氣、氮氣氣體時，可能會發(fā)生最大1cm3/min(氣壓下)的閥座泄漏。
判定●可以使用。（請在產(chǎn)品登載頁確認詳情。）
△請與本公司協(xié)商。（某些條件下可以對應(yīng)。）
X不可使用。
注1 ：由于通常采用各種各樣的化學(xué)液體的混合液，因此，無法掌握所有影響。
請在充分確認產(chǎn)品構(gòu)成材料與所使用流體的適用性后，判斷可否使用。
注2 ：使用氫氟酸或含氫氟酸的化學(xué)液體時，或者流體溫度超過40℃時，請咨詢本公司。
注3 ：在100℃以上的溫度下使用硫酸+雙氧水時，請與本公司協(xié)商。
注4 ：在流體溫度80℃以上的條件下使用胺類剝離液時，請定期更換。
建議最少一年更換一次。
注5 ：請選擇選擇項“P”。
注6 ：請選擇選擇項“M”。
注7 ：進行金屬配管時，請選擇不銹鋼閥體型號。
進行氟樹脂配管時，請選擇選擇項“M”。
注8 ：建議使用適于這些化學(xué)液體的AMD※※H系列或AMD※※2系列。
注9 ：由于屬于高透過性化學(xué)液體，透過氣體將會混入先導(dǎo)空氣中，從而對執(zhí)行元件產(chǎn)生不良影響。
需要保護執(zhí)行元件時，請與本公司協(xié)商。
注10 ：本公司可以提供采取了酸性流體對應(yīng)對策以及透過氣體對策的特注生產(chǎn)品。請另行與本公司協(xié)商。
注11 ：使用氫氟酸或含氫氟酸的化學(xué)液體時，流體溫度為5～80℃。無法使用旁通閥體。
注12 ：氣體時，可能會發(fā)生最大1cm3/min（氣壓下）的閥座泄漏。

規(guī)格
項目AMDO※3R
使用流體化學(xué)液體、純水、空氣、氮氣(注1)
流體溫度 ℃5～120(注3、注4)
耐壓力 MPa1.0
使用壓力(A→B) MPa0～0.5
使用壓力(B→A) MPa0～0.5
閥座泄漏 cm3/min0(水壓)
背壓 MPa0～0.5
環(huán)境溫度 ℃0～60
頻率30次/分鐘以下
安裝方式自 由
配管方式ODφ6 · φ8 · φ10配管連接(接頭一體型)
OD1/4" · 3/8"配管連接(接頭一體型)
通徑 (注5)φ3.5 φ4φ6φ7φ8
Cv值 (注6)0.28 0.340.640.70.8
執(zhí)行器部控制壓力MPaNC · NO:0.35～0.5雙作用：0.3～0.4
控制氣口Rc1/8(使用控制氣口NC:Y氣口 NO:X氣口 雙作用：X、Y氣口)
注1:請確認產(chǎn)品構(gòu)成材料與所使用流體、環(huán)境氣體的適用性后，再使用。(適用性核對表請參照卷頭第15頁。)
注2:有關(guān)流量特性，請參閱第122頁。
注3:氫氟酸或含氫氟酸的化學(xué)液體請在5～80℃的范圍內(nèi)使用。
注4:配管方式為F-LOCK60 系列接頭時，為5～100℃。
注5:各機種的通徑請通過型號表示方法進行確認。
注6: Cv 值為溫度23℃時的值。

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